扫描电镜线性失真度校准

请教大家一个问题，扫描电镜校准校准规范里线性失真度是用10微米二维栅格板，规定了在1000倍的倍率下测量，实际在这个倍率下测量栅格的X和Y方向误差手动误差比较大，个人建议应该在2000倍以上的倍率，或者用更大的栅格测量比较合理，这样可以减少人为测量误差。

只能说明这个机器的软件不行