GB/T 15872-1995半导体设备电源接口

【 标准编号 】 GB/T 15872-1995
【 标准名称 】 半导体设备电源接口  
【 英文名称 】 Power supply interface for semiconductor equipment
【 发布单位 】 国家技术监督局
【 批准单位 】 国家技术监督局
【 发布日期 】 1995-12-22
【 实施日期 】 1996-8-1
【 开本页数 】 4P
【 引用标准 】 GB 1002; GB 1003; GB 5013.2; GB 11919
【 采用关系 】 ,
【 起草单位 】 中国华晶电子集团公司
【 起 草 人 】 濮川; 吴兵; 赵雨生; 孙勤