维铬原子沉积纳米光栅样板——课题验收会

由中国计量科学研究院、同济大学和国防科技大学联合组成的研究小组，经过3年的科技攻关，在国内首次成功研制出一维纳米尺度光栅标准样板。11月2日，该课题通过了国家质检总局科技司组织的验收鉴定。

图为该课题验收会现场

       近年来，我国纳米技术产业发展迅速。与此同时，纳米产业对计量基标准的需求也日益突显。我国每年进口的近万台纳米测量仪器无法进行质量检测，不得不依靠国外样板进行校准。即便如此，我国纳米产业量值不一的状况并未从根本上得到解决。据了解，由于溯源渠道不同，同在无锡的两家大型集成电路企业的线宽量值竟然相差10%。量值溯源问题已严重阻碍了我国纳米技术产业的发展，对国民经济造成了很大损失。
       为解决上述问题，以中国计量科学研究院电学量子所长度量子基准研究室为主导的科研小组在调研基础上，于2006年立项承担了“十一五”国家科技支撑计划课题——“冷原子纳米尺度计量基准关键技术研究”。
       经过3年的努力，研究小组掌握了铬原子沉积纳米光栅理论和技术，自主建立了高真空度原子沉积实验装置，成功研制出栅距为（213.1±0.5）nm的一维纳米尺度光栅标准样板，并通过了专业机构的计量验证。通过本课题的实施，中国计量科学研究院在昌平院区建立了原子沉积纳米光栅实验基地，培养和锻炼出一支具有高素质、创新性和专业化的科研队伍。
       一维标准纳米光栅样板是国际计量局规定的5个纳米标准样板之一。它的成功研制，突破了我国纳米技术产业发展的技术瓶颈，填补了我国在纳米计量标准物质方面研究的空白，技术指标达到了国际先进水平。该项成果的取得，使我国成为少数几个掌握原子光栅沉积技术的国家之一，使纳米计量标准物质国产化成为可能，将从根本上解决我国纳米测量仪器的量值溯源和校准问题，改变我国纳米计量长期依赖国外的现状，为我国纳米技术产业的快速发展提供有力的技术支撑。