2m比长仪纳米级高精度刻线自动瞄准系统

摘要：阐述了2m比长仪刻线瞄准系统的组成,对其光电显微刻线成像的原理及刻线图像信号进行了分析,根据其刻线信号的特点,研究了其高精度的刻线信号自动处理系统,该系统基于FPGA现场可编程电路技术,实现刻线信号的自动门控触发、自动滤除虚假刻线信号,配合计算机信号自动处理软件可以实现刻线测量的高精度自动瞄准.最后对2m比长仪的瞄准精度进行了测试实验,实验结果表明,测量金属标准线纹尺时,2m比长仪单次测量刻线瞄准精度优于10nm(1σ).
作者：         叶孝佑[1]     高宏堂[1]     邹邻丁[1]     张晓[2]     甘晓川[1]     孙双花[1]     常海涛[3]     沈雪萍[1]     陈黎云[1]
作者单位：        
中国计量科学研究院,北京,100013
浙江计量科学研究院,浙江,杭州,310013
北京航空航天大学,北京,100191