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1 任务来源 依据国质检量函(2015)146号“质检总局关于下达2015年国家计量技术法规制制订计划的通知”，由中国科学院光电技术研究所和 中国测试技术研究院负责 JJF989-2017《数字式激光球面干涉仪校准规范》的制订工作，制订工作于2015年5月开始，2016年4季度报批。 2 制订背景 数字式激光球面干涉仪的基本原理是通过分析参考球面与被测球面产生的干涉条纹而获得被测球面面形 误差信息，其检测精度直接受到干涉仪误差（参考面面形误差、随机电子噪声、环境振动及气流扰动等）的限制。近年来，大量进口和国产的数字式激光球面干涉仪在光学制造行业尤其是国防工业领域投入使用。 根据可查阅到得相关资料显示，国内外目前尚没有关于数字式激光球面干涉仪的校准规范，仅存在数字式激光平面干涉仪的校准规范《GJB/J 6221-2008 数字式激光平面干涉仪校准规范》。由于球面干涉仪与平面干涉仪之间在标准镜的选择、安装与调整、光路结构、被测镜的检测与标定方法等方面存在极大的不同，其校准规范不能相互适用，经常出现不同用户之间测量方法不统一、测量数据不吻合的问题，故十分有必要制定数字式激光球面干涉仪的校准规范来规范和完善生产厂家和计量机构等在校准球面干涉仪时在校准项目、校准方法、校准器具的要求及技术要求和准确度等级等方面的表述。为了保证量传的准确性，有必要制定国家校准规范，保证量值的准确统一。 3 制订原则 3.1合规性原则 本校准规范严格按照JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》要求进行编写。术语和 计量单位及其符号使用规范。 3.2“三性”原则 校准规范的内容与现行有效相关标准相协调，技术内容具有先进性、科学性和可操作性。使本规范实用、管用、好用。 3.3继承性与创新性相结合原则 在充分调研和归纳总结2003版平面等厚干涉仪校准规范使用过程中的经验基础上，结合数字式球面干涉仪与计量技术进步，确定数字式球面干涉仪应校准的主要计量特性、校准条件、校准项目、校准方法等。本规范中的校准方法通过实验验证，力求科学合理、简便可行，确保校准结果准确可靠。 3.4行文通达简明原则 本规范中的文字表述力求层次分明，语句简明，公式表达准确。 4 制订依据 本规范修定时主要参考了 JJG 28-2000《平晶 检定规程》、JJF 1100-2003《平面等厚干涉仪校准规范》和GJB/J 6221-2008 《数字式激光平面干涉仪校准规范》。 5 主要制订工作 5.1关于最大允许误差的制订 数字球面干涉仪的精度主要取决于其干涉仪球面镜头的精度。目前主流的干涉仪球面镜头按口径、F数和面形质量进行分类。干涉仪生成厂商同时提供不同的选配镜头，其中国外的镜头厂家包括美国的Zygo公司、Kreischer公司和JENOPTIK公司，德国的Carl Zeiss公司和XONOX公司，日本的CVI Melles Griot公司和Fujifilm公司，以及我国的成都太科光电技术有限责任公司、南京英特飞光电技术有限公司和上海乾曜光学科技有限公司。现行的主要厂家生产的干涉仪球面镜头按精度等级分主要有如下三个等级：λ/10、λ/20和λ/40。 国内外主要厂家干涉仪球面镜头的面形质量情况如表1所示。 表1 国内外主要厂家干涉仪球面镜头 注：λ=632.8nm 5.2 最大允许误差校准方法的制订 按照干涉仪球面镜头按精度等级（λ/10、λ/20和λ/40）的不同，选用不同的校准方法。1级（λ/20）和2级（λ/10）球面干涉仪采用与λ/50精度等级的标准器直接比较的方法进行校准；0级（λ/40）及更高等级的球面干涉仪采用λ/40或λ/50精度等级的标准器进行三位置法校准。 六、征求意见情况和处理 《数字式激光平面干涉仪校准规范》编写组 2017年4月25日
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闽公网安备 35020602000072号
