静态电荷量测试仪校准源研制

焦海妮,王逸洲,李晶晶,孙文,张军齐
北京东方计量测试研究所,北京100086
摘要 静态电荷量标准采用精密程控电压源和精密电容器输出高准确度静态电荷量,利用电压负反馈进行自动调整,克服负载电容和输出电压对输出电荷量的影响,实现静态电荷量的稳恒输出,可方便地检定静电计和电荷放大器。该静态标准电荷源的稳恒特性比传统的电荷源提高了5个数量级。该标准源静态电荷量Qx范围为200pC～2μC;允许误差为0.1%Qx+0.1pC;等效源内电容为10-15F。