微纳测量家族再添新成员：CP200台阶仪上市

中图仪器

台阶仪是一种接触式表面形貌测量仪器，可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。台阶仪对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求，样品适应面广，数据复现性高、测量稳定、便捷、高效，是微观表面测量中使用非常广泛的微纳样品测量手段。长期以来，此类仪器被欧美厂商垄断，国内尚无厂商可提供同类产品，鉴于此，我司开发出了具有完全自主知识产权的台阶仪。

台阶仪广泛应用于：大学、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域。

CP200台阶仪显著特性：

1.出色的重复性和再现性，完全满足被测件测量精度要求

线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13um量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。

2.超微力恒力传感器：（1-50）mg可调

测力恒定可调，以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的精准接触式测量。

3.超平扫描平台

系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，提高扫描精度，真实反映工件微小形貌。

4.顶视光学导航系统，5MP超高分辨率彩色相机

5.全自动XY载物台， Z轴自动升降、360°全自动θ转台

6.强大的数据采集和分析系统

台阶仪软件包含多个模块，为对不同被测件的高度测量及分析评价提供充分支持。

CP200台阶仪典型应用：

光刻胶台阶高曲线测量