GB/T 19922-2005硅片局部平整度非接触式标准测试方法

【 标准编号 】 GB/T 19922-2005
【 标准名称 】 硅片局部平整度非接触式标准测试方法  
【 英文名称 】 Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning
【 发布单位 】 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局; 中国国家标准化管理委员会
【 发布日期 】 2005-9-19
【 实施日期 】 2006-4-1
【 开本页数 】 9P
【 引用标准 】 GB/T 14264; ASTMF 1530-94
【 起草单位 】 洛阳单晶硅有限责任公司; 中国有色金属工业标准质量研究所
【 起 草 人 】 史舸; 蒋建国; 陈兴邦; 贺东江; 王文; 邓德翼