GB/T 6616-1995半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层 电阻测定

【 标准编号 】 GB/T 6616-1995
【 标准名称 】 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层 电阻测定 非接触涡流法  
【 英文名称 】 Test method for measuring resistivity of semiconductor silicon or sheet resistance of semiconductor films with a noncontact eddy-current gage
【 发布单位 】 SBTS
【 批准单位 】 国家技术监督局
【 发布日期 】 1995-4-18
【 实施日期 】 1995-12-1
【 开本页数 】 5P
【 替代标准 】 GB 6616-1986
【 采用关系 】 ASTM F673-1990,EQV
【 起草单位 】 上海有色金属研究所