干涉式三维表面形貌测量仪校准规范征求意见稿

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干涉式三维表面形貌测量仪基于双光束干涉的原理，经样品表面反射回的参考光与测量光形成干涉条纹，并经由CCD采集，经过算法重构获得表面形貌，在垂直方向上可以达到亚纳米级的分辨力，其结构示意图见图1。

长度室

这是中图那款光学3D表面轮廓仪的不。