基于双频激光干涉的坐标测量机测量不确定度检定系统

兑水

作者：  祝连庆, 北京机械工业学院,北京,100085; 陈青山, 北京机械工业学院,北京,100085; 董明利, 北京机械工业学院,北京,100085; 张舒, 北京机械工业学院,北京,100085   
   会议名称：  中国仪器仪表学会第八届青年学术会议   
   会议时间：  20060728   
   会议地点：  大连   
  主办单位：  中国仪器仪表学会  
         摘要：  本文分析了现有坐标测量机精度检定的方法,设计了基于双频激光干涉仪为测量基准的三坐标测量机测量不确定度检定系统,给出了检定过程中测量数据的处理方法和测量不确定度的表达式.该系统利用高精度的直线静导轨和动导轨的组合可快速方便地实现三坐标测量机单轴和测量空间内测量不确定度的检定.