平面平晶的使用方法

我们公司别的部门买了几个平面平晶，说是要检查平面度，请教我们怎么使用，我也是只知道些皮毛，好像是说干涉条纹越少越好，别的就一知半解了，请教有什么可以参考的资料吗？

测量时﹐把平晶放在被测表面上﹐且与被测表面形成一个很小的楔角  ﹐以单色光源照射时会产生干涉条纹。干涉条纹的位置与光线的入射角有关。如入射光线垂直于被测表面﹐且平晶与被测表面间的间隙很小﹐则由平晶测量面P 反射的光线与被测表面反射的光线在测量面 P 发生干涉而出现明或暗的干涉条纹。若在白光下﹐则出现彩色干涉条纹。如干涉条纹平直﹐相互平行﹐且分布均匀﹐则表示被测表面的平面度很好﹔如干涉条纹弯曲﹐则表示平面度不好。其误差值为 ﹐式中 为两干涉条纹间距离﹐ 为干涉条纹的弯曲值﹐ 为光波波长﹐白光波长一般以0.6微米计算。

当干涉条纹平直、互相平行，且又均匀分布时，则说明其平面度好；当干涉条纹不规则、且无规律时，则说明其平面度不好。

平面平晶的干涉条纹平直则表示平面好.如果是彩色光圈一圈则是0.3微米,如看到不是一圈而是多圈则用所看到的圈数乘以0.3则是它的平面度.如是弧形则表示是0.3以下.

最简单的方法，在测量时读出明暗条纹的条纹数（明或暗，一般读出暗条纹的个数即可）乘以0.3，结果即是平面度。（单位为um)

原帖由 duomeiti 于 2008-6-12 21:53 发表
测量时﹐把平晶放在被测表面上﹐且与被测表面形成一个很小的楔角  ﹐以单色光源照射时会产生干涉条纹。干涉条纹的位置与光线的入射角有关。如入射光线垂直于被测表面﹐且平晶与被测表面间的间隙很小﹐则由平晶测量面P 反射的光 ...

单色光源是指什么？？？？
平时的手电筒行不？

原帖由 nana 于 2008-6-13 09:31 发表
最简单的方法，在测量时读出明暗条纹的条纹数（明或暗，一般读出暗条纹的个数即可）乘以0.3，结果即是平面度。（单位为um)

这个乘以0.3的结论是怎么得来的呀，谢谢！

白光波长一般以0.6um，（λ/2）=0.3um。

游标卡尺的测量面平面度用什么检定？　平晶还是刀口尺？

[ 本帖最后由 duomeiti 于 2008-6-27 16:57 编辑 ]

外量爪用刀口尺测量，内量爪用千分尺测量。

原帖由 rybmsi 于 2008-6-13 09:35 发表

单色光源是指什么？？？？
平时的手电筒行不？

单色光源一般情况下就是指日常工作光源，像白色荧光灯之类！

原帖由 zjauto 于 2008-6-17 21:26 发表
游伴卡尺的测量面平面度用什么检定？　平晶还是刀口尺？

游标卡尺的测量面平面度用刀口尺检。见：JJG 30-2002 通用卡尺检定规程

你们公司平晶如果没有等厚干涉仪需要三个相互检定才行，

引用一本书上的内容:
1)根据干涉条纹计算平面度误差
测量时若出现向一个方向弯曲的干涉条纹，如图所示，调整平晶位置，使之出现3～5条干涉带，则平面度误差的近似值为：
f= (v/ω)×(λ/2)
λ为光波波长，白光的平均波长为0.58μm,ν为干涉带弯曲量，ω为干涉带间距
但是如何精确确定ν和ω的值,我也很迷惑!
2）根据光圈计算平面度误差
若被测平面凹或凸，则会出现环形干涉带，调整平晶的位置，使干涉带数为最少，则平面度误差的近似值为：
f＝(λ/2) ×n
λ为光波波长，白光的平均波长为0.58μm；n为平晶直径方向上的光圈数

示意图如下


[ 本帖最后由 duomeiti 于 2008-6-27 16:55 编辑 ]

平晶具有两个（或一个）光学测量平面的正圆柱形或长方形的量规。
光学测量平面是表面粗糙度数值和平面度误差都极小的玻璃平面，
它能够产生光波干涉条纹（见激光测长技术）。平晶有平面平晶和平行平晶两种。
平面平晶用于测量高光洁表面的平面度误差，
图1a为用平面平晶检验量块测量面的平面度误差。
平行平晶的两个光学测量平面是相互平行的，用于测量两高光洁表面的平行度误差，
例如千分尺两测量面的平行度误差（图1b）。平晶用光学玻璃或石英玻璃制造。
圆柱形平面平晶的直径通常为 45～150毫米。
其光学测量平面的平面度误差为:1级精度的为0.03～0.05微米；2级精度的为0.1微米。
常见的长方形平面平晶的有效长度一般为200毫米。

[localimg=310,300]1[/localimg]


[ 本帖最后由 herringhsu 于 2008-7-6 20:23 编辑 ]

最简单的方法，在测量时读出明暗条纹的条纹数（明或暗，一般读出暗条纹的个数即可）乘以0.3，结果即是平面度。（单位为um)
nana 发表于 2008-6-13 09:31

搞几何量计量的人不应出现这样的错误：微米应写作μm，而不应写作um，希腊字母μ是词头，它表示对长度的主单位米（m）的负6此方，而英语u不是词头，表达的意思也完全不一样，所以um是一个错误的单位，说明此事决不是吹毛求疵。

检查千分尺的是一圈一圈的，圈数越少越好吗？楔角是什么意思啊？

检查千分尺的是一圈一圈的，圈数越少越好吗？楔角是什么意思啊？
钟智 发表于 2009-10-31 14:49

当然是圈数越少越好;楔角是指平晶与千分尺测砧之间所保持的角度(平晶并不是平压在测砧上时)，就像14#回帖中左边那幅图一样。

收获很大啊。只是没有看到图阿？

继续学习中

继续学习中，有一点遗憾的是图片打不开

挺好，学习了！

来学习，受教了