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YS/T 15-91硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法

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woshi_tjy

发表于 2008-6-14 10:57:04 | 显示全部楼层 |阅读模式

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【标准编号】 YS/T 15-91
【标准名称】硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法
【发布单位】中国有色金属工业总公司
【批准单位】中国有色金属工业总公司
【发布日期】 1991-4-26
【实施日期】 1992-6-1
【开本页数】 5P
【引用标准】 GB 1550
【起草单位】上海有色金属研究所
【起草人】张玉芬; 夏锦禄

厚度, 外延, 扩散层, 染色, 测定

硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法.pdf

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