校准项目和校准方法
5.1 外观及各部分相互作用检查:
以观察和试验的方法检定
5.2 玻璃工作台与纵横向滑板的移动方法的平行度
将测微表固定在显微镜的主显微镜的立柱上,测微表头与工作台面相接触,移动玻璃工作台,观看测微表的示值变化,其变化值不大于JJG56-2000规程中3.2要求。
5.3 纵横向滑板移动的直线度
将测微表固定在显微镜的主显微镜的立柱上,平尺安装在仪器的工作台上,并将平尺调整至与滑板移动方向平行,使测微表头与平尺工作面接触,移动滑板全行程,观看测微表的示值变化,其变化值大于JJG56-2000规程中3.3要求。
5.4 纵横向滑板移动的垂直度
将200 mm×100mm宽度直角尺安装在仪器的工作台上,测微表借助表架,调整直角尺使其工作面与纵横滑板移动方向平等,测微表头与其接触,移动滑板,观察测微表示值变化情况,其变化值不大于JJG56-2000规程中3.4要求。
5.5 立柱位于零位时,光轴对工作台面的垂直度
将尺寸为(2-3)mm的量块研合在尺寸为(20-50)mm的量块上,如下图所示。然后把研合量块平放在仪器的工作台上,调节可变光束至最小孔径,开主显微镜臂架,直至在主显微镜中见到量块清析影像为止。这时观察量块两工作面的
影像是否同样清晰,再将块调转180°观察量块工作面的影像是否也同样清晰,以上方法在纵横向两个方位上进行。
5.6测角显微镜处于零位时,测角目镜的十字线与滑板移动方向的平行度
校准时,将刀口直角尺或专用玻璃线纹尺的直角线纹的长端平行与纵向滑板的移动方向,转动测角目镜的十字分划线,使其水平线与直角尺或直角线纹的长边影像平行,观察测角止镜的示值是否为零,若不是零,则读出其偏差,应不大于JJG56-2000规程中3.9的要求。
5.7 测角显微镜的示值误差
在5.6的基础上依次转动测角显微镜的度盘,移动滑板,使十字线的水平线与滑板移动的方向平行,并按测角显微镜读出受检点的示值误差,其误差,应有大于JJG56-2000规程中3.10要求。
5.8仪器示值误差
同JJG56-2000规程中5.3.14要求
6 校准数据
作好原始记录,依据 OP/26 S SZCD012-2006工具显微镜原始记录表格处理。 |