[转载]光学显微镜的校验标准器？

（因为急着作报告，发现里面的帖子没人看，所以转出来了，望版主手下留情。）

公司有几台光学显微镜，
主要用于测量IC的偏移量，
由于拿出去外校费用比较昂贵，
所以考虑内校，
请问校验的标准器应该如何选择？

用玻璃尺？光波干涉测长机（Laser Interferometer）？目镜测微器(Objective Micrometer)？
对于这几个工具，我也是比较困惑。。。
校验的方式应该怎样进行呢？
感谢!~

附：
光学显微镜为GENTEN解析大尺寸显微镜，型号见网址：http://www.genten.tw/pro04.htm#pro0404
以前作外校主要针对X向示值误差和Y向示值误差，分别作0--1000mm的20个测量和0--970mm的20个测量
然后给出扩展不确定度U和k.

或许我的帖子冒犯了各检验局测量人员，无端端外校变内校，我也是被boss压迫的打工仔呀，请原谅。