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SJ 2803-87电子级氧中痕量二氧化碳的测定方法预切割

woshi_tjy 发表于 2008-8-9 18:42:57 | 显示全部楼层 |阅读模式

【标准编号】 SJ 2803-87
【标准名称】电子级氧中痕量二氧化碳的测定方法预切割、氢转化色谱法
【发布单位】电子工业部
【发布日期】 1987-5-18
【实施日期】 1988-1-1
【开本页数】 4P
【起草单位】电子工业部七四二厂; 上海测试技术研究所; 电子工业部标准化研究所; 中科院半导体研究所
【起草人】朱国华; 郑吉园; 赵长春; 尹恩华

二氧化碳, 切割, 测定, 电子

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