GB/T 12964-2003硅单晶抛光片

【 标准编号 】 GB/T 12964-2003
【 标准名称 】 硅单晶抛光片  
【 英文名称 】 Monocrystalline silicon polished wafers
【 发布单位 】 国家质量监督检验检疫总局
【 发布日期 】 2003-6-16
【 实施日期 】 2004-1-1
【 开本页数 】 9P
【 替代标准 】 GB/T 12964-1996
【 引用标准 】 GB/T 1550-1997; GB/T 1552-1995; GB/T 1554-1995; GB/T 1555-1997; GB/T 1558-1983; GB/T 2828-1987; GB/T 4058-1995; GB/T 6616-1995; GB/T 6618-1995; GB/T 6619-1995; GB/T 6620-1995; GB/T 6621-1995; GB/T 6624-1994; GB/T 11073-1989; GB/T 12962-1996; GB/T 13387-1992; GB/T 13388-1992; GB/T 14140.1-1993; GB/T 14140.2-1993; GB/T 14143-1993; GB/T 14264-1993; GB/T 14844-1993; YS/T 26-1992
【 起草单位 】 北京有色金属研究总院; 洛阳单晶硅有限责任公司
【 起 草 人 】 翟富义; 孙燕; 董慧燕; 卢立延; 曹孜; 孙文海