GB/T 4058-1995 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法

【 标准编号 】 GB/T 4058-1995
【 标准名称 】 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法  
【 英文名称 】 Test method for detection of oxidation induced defects in polished silicon wafers
【 发布单位 】 国家技术监督局
【 批准单位 】 国家技术监督局
【 发布日期 】 1995-4-18
【 实施日期 】 1995-12-1
【 开本页数 】 10P
【 替代标准 】 GB 4058-83; GB 6622-86; GB 6623-86
【 引用标准 】 GB/T 1554; YS/T 209
【 采用关系 】 ,
【 起草单位 】 峨眉半导体材料厂
【 起 草 人 】 吴道荣; 王向东; 胡政; 刘文魁