[几何量仪器] 接触式干涉仪自由状态下零次干涉带的正确位置

兑水 发表于 2009-2-12 11:38:29 | 显示全部楼层 |阅读模式

谢春景
河北省廊坊市计量测试研究所

摘　　要:接触式干涉仪被广泛地用来检定（3～4）等量块,这种仪器的示值误差δ=±（0.03＋1.5niΔλ/λ）μm。可是在一种不被注意的情况下，仪器的示值误差会达到0．3μm左右，这种情况在实际使用中又是可能出现的，因此有必要对此加以认识。 (共1页)

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