JJF(电子)0072-2021非接触涡流法半导体晶片电阻率测试系统校...

主题：JJF(电子)0072-2021非接触涡流法半导体晶片电阻率测试系统校准规范
内容：
【 标准名称 】JJF(电子)0072-2021
【 标准编号 】非接触涡流法半导体晶片电阻率测试系统校准规范
【 英文名称 】Calibration Specification of Semiconductor Wafer ResistivityTest System by Non -contact Eddy Current Method
【 发布单位 】中华人民共和国工业和信息化部
【 归口单位 】中国电子技术标准化研究院
【 发布日期 】 2021-12-02
【 实施日期 】 2022-04-01
【 开本页数 】
【 替代标准 】首次发布
【 起草单位 】
【 起 草 人 】