晶圆薄膜应力测量仪校准规范-征求意见稿

晶圆薄膜应力测量仪(以下简称应力仪)，是一种基于非接触式位移传感器扫描测量镀膜前后晶圆表面三维表面轮廓曲率半径，通过斯托尼(Stoney)公式计算薄膜应力的仪器。根据测量原理的不同，应力仪分为线扫描和面成像两种类型