[光学] 椭偏仪

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仪器名称:	椭偏仪
仪器俗称/别名:
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描述:	椭偏仪常用于微电子、光电子、薄膜光学偏振光学等领域的椭偏角光谱测量与分析，按工作原理、结构形式等，可划分为反射、透射式，或单波长、多波长、光谱式，或消光式、旋转偏振光学元件式、福调制型等，或固定入射角、可变入射角式，等等。椭偏仪测量椭偏角的基本原理是，由仪器发出特定偏振态的偏振光，经被测对象表面反射(透射)后，再经偏振、相位延迟元件获得光强度的变化，经仪器分析得到椭偏角。
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GMT+8, 2026-7-22 16:17

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