[活度] 能谱仪

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仪器图片:
仪器名称:	能谱仪
仪器俗称/别名:
英文名称:
相关标准:	JJF 2067 X射线能谱仪校准规范
型号规格:
测量范围:
等级:
分辨率:
技术指标:	-
生产厂家:	-
描述:	X射线能谱仪(简称能谱仪，EDS)是一种常见的用于分析试样化学组成以及对该组成进行定量分析的仪器，一般与扫描电子显微镜(简称扫描电镜，SEM)或者电子探针(简称 EPMA)组合使用，其中SEM/EDS组合最广泛。其工作原理如下:SEM或者 EPMA 发射具有一定能量的聚焦电子東轰击试样表面，会产生相应被激发元素的特征X射线。这些射线被X射线探测器检测，经过信号转换、放大等一系列处理和分析后，可以得到试样中所含各元素的特征X射线强度值。通过与相应元素标准样品的X射线能谱的对比测定和修正计算处理，可以获得被测试样化学组成的定量分析结果，能谱仪的结构示意图见图1。能谱仪的窗口类型可分为 Be 窗口、超薄窗口和无窗，制冷模式可分为液氮制冷和电制冷，探测器类型可分为 Si-li探测器和硅漂移探测器(SDD)。

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