《压阻真空计校准规范》征求意见稿

一、        任务来源
经全国压力计量技术委员会向国家质量监督检验检疫总局申报，由中国计量科学研究院、江苏省计量科学研究院、成都国光电气股份有限公司制定本校准规范。国家质检总局已于2013年4月通过审定并批准立项，以“国质检量［2013］101号”文正式下达制订任务。
二、        校准规范制定的必要性
目前与压阻真空计有关的现行有效的两个技术文件是JJG 932-1998《压阻真空计检定规程》和JB/T 10553-2006《真空计 扩散硅压阻真空计》。JJG 932-1988规程于1998年制定，距今已有14年时间。同时考虑到实际工作的需要，需要对该规程进行修订。新修订要求制定新的校准规范，而不是修订原规程进而制定新规程。
JJG-932中规定压阻真空计需要在（102～105）Pa范围内进行检定，但是要求在（103～105）Pa范围内，其相对示值误差不超过20%，即为合格。该做法不甚合理，因判定依据的测量点不是全部测量点，如此情况下，非判定点即不需要测量。另外，行业标准中要求仪器的各点精度为满量程的0.5%，而规程中要求的精度为测量点的20%，二者不匹配，不利于实际工作的进行。
压阻真空计，一般只作为工作用计量器具，且不属于强制检定的范围。在使用中，也不需要对其进行评级。用户可以根据需要来选择使用。因此，本项目希望在JJG-932的基础上，编写相应的校准规范，以满足压阻真空计在使用中的需求。
三、        制定规范的简要过程
3.1 调研情况
3.1.1 生产情况
目前国内主要有成都国光电气股份有限公司，成都正华电子仪器有限公司，北京北仪创新真空技术有限责任公司等，年产量在100台件以上。国外主要有：Inficon公司、Pfeiffer公司、Leybold公司、Hastings公司等，在中国的年销售量在200台件以上。
3.1.2 使用情况
压阻真空规一般应用在航空、电子、造纸等行业。
3.2 主要内容说明
3.2.1 测量范围
本校准规范规定的测量范围是100Pa~100kPa，测量范围的下限的确定主要从两方面考虑：一是满足不确定度要求，二是满足使用要求。各个厂家生产的压阻真空规测量下限通常在100Pa左右，取更低的测量范围，意义不大。
3.2.3 标准装置
在本校准规范中，测量标准装置推荐采用比较法真空标准装置，没有推荐采用其他的标准装置。主要因为比较法校准装置的指标比较适合于压阻真空规的校准。另外静态膨胀系统目前国内使用者少，而且有向比较法真空标准装置改造倾向。
3.2.4 标准装置的不确定度要求
标准装置的不确定度建议为Ur=(1.0%~0.15%) (k=2)，主要是考虑到目前的装置基本能够达到要求，且满足压阻真空计的校准条件。
3.2.5 安装
为避免校准时的安装位置与使用时安装位置不同而产生系统差，校准过程中，尽量按照客户要求进行。如无特殊要求，建议在证书中给出具体安装位置。

中国计量科学研究院

压阻真空计校准规范

王金库

13718313218

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