工业CT 长度测量误差校准的探索研究

摘要: 针对工业CT 在尺寸测量领域难以溯源的问题，对工业CT长度测量误差的校准方法进行f 探索研究。工业CT的长度测量误差分为球心距误差和端而距误差两类。对于球心距误差，研制出种小森林球标准器，并使用微纳坐标测量机对其进行了校准。该标准器用于型号为Mctrotom 1500 的工业CT 的校准时， 球心距误差小于土2 um，且小于仪器的最大允许误差。对于端面距误差，分别选用常见的金属量块和陶瓷量块作为尺寸实物标准器进行了探索实验， 测得端面距误差超出了仪器的最大允许误差。实验结果表明，使用球心距和端面距校准得到的工业CT 的测量误差差异很大，并且对于同一长度，端面距误差远大于球心距误类。

作者：宋旭；施玉书；宋小平；李东升；陈思文；李适；高思田
单位：中国计量学院；中国计量科学研究院；天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室