2m激光干涉测长基准装置

八一八

摘要：阐述了2m激光干涉测长基准装置工作原理及系统组成,以线间距测量功能为基础,研究了接触式和非接触式的几何测长对准方法,实现了其测长功能拓展应用.介绍了实现纳米精度测长的技术措施.对称布局的双光电显微镜同步扫描测量接长的方式实现2m刻线间距测量,信号处理系统具有标准间距位置脉冲发生功能,可以实现位移传感器动态触发校准和其它应用.对于高质量的线纹尺,2m激光干涉测长基准装置单次测量刻线间距的最佳瞄准精度优于10 nm(1σ),1 m测量范围内的线纹测量不确定度U=(20 +40 L) nm(k=2)。

作者：叶孝佑等

单位：中国计量科学研究院,北京,100013