新型一等大量块标准装置的研制

斤斤计较

张旭东,刘香斌,吴月艳
中国计量科学研究院, 北京 100029
摘要 采用多波长干涉法实现125～1000 mm量块的高精度测量。633 nm、543 nm和612 nm 3种激光波长通过单根光纤引入到一台泰曼-格林型干涉仪中,采用小数重合法进行量块长度测量。改进的Edlen公式用于激光波长修正,干涉条纹小数采用5步移相法计算,专用的测量软件完成量块的自动测量。对测量装置进行了大量的测量实验,测量不确定度为U=0.02 μm+ 0.1×10- 6L(k=3)。