1MΩ-100GΩ高值电阻器高精度的校准方法

酱里个酱 · 发表于 2016-5-3 11:17:53

作　　者：王一帮[1] 郑世棋[1] 梁法国[1] 乔玉娥[1] 刘霞美
机构地区：[1]中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄050051
摘　　要：高阻计、数字源表等仪器在半导体行业有着广泛的应用. 但目前市场上1MΩ-100GΩ高值电阻器准确度（±1. 0x10-3 -±1. 0x10-2）无法满足高阻计、数字源表等仪器电阻参数的溯源需求. 本文提出了一种高精度的高值电阻器的校准方法,该方法由两个多功能校准源和指零仪组成的比较电桥实现. 根据校准方法组建了1MΩ-100GΩ测量系统,测量结果的不确定度为3. 0x10-5 -8. 0x10-4,可满足市场上绝大部分高阻测量仪器的校准需求.

angus_tan · 发表于 2016-5-3 13:31:55

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unluckydog · 发表于 2016-5-3 16:11:31

说提出有点不合适吧，双源电桥原理好早就有了。。。

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[直流电阻] 1MΩ-100GΩ高值电阻器高精度的校准方法

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