新型一等移相量块干涉仪的研制

八一八

张旭东1,刘香斌1,王世婕2,王振华2,吴月艳1
1.中国计量科学研究院,  北京 100029
2.内蒙古自治区计量测试研究院,  内蒙古 呼和浩特 010000
摘要 研制了一台用于0.5～100 mm量块测量的新型移相量块干涉仪,分别以波长为633 nm和543 nm的两台稳频激光器作为测量光源,通过一根单模光纤引入到干涉仪内。高精密移相器实现5步移相干涉测量,CCD相机采集干涉条纹并计算干涉条纹小数,被测量块长度采用多波长的小数重合法计算。移相量块干涉仪的测量不确定度达到U=0.015 μm+0.07×10^-6L(L为量块长度,mm)。

王大鹏

感谢楼主提供资料分享，谢谢。