表面粗糙度国际比对自动测量系统关键技术研究

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卜祥鹏1张树1,2皮磊1施玉书1
1. 中国计量科学研究院2. 深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
摘要：基于中国计量科学研究院的表面粗糙度基准计量装置，开展了视觉定位系统、自动操作系统和多自由度位移系统的研究，从而实现依据国际比对协议规定流程的自动化测量。实验验证表明：该系统可有效实现表面粗糙度的自动化测量，满足国际比对的要求。在对国际比对规定的表面粗糙度标准器的测量实验中，该系统的自动定位测量的重复性为4.2 nm,相比于手动定位测量提高了2.6倍，有效地减少了测量过程中引入的人为误差。