使用电感测头加显示器的确可以得到更高的测量精度,同时,显示器的分辨力通常可调,常见的一般可以调至0.1um,某些可以调至0.01um,但通常最后一位数字显示会跳得厉害.
中国的国家标准及检定规程将这一类产品称之为"电感测微仪",必须将测头与显示器配对后,组成一个完整的测量系统.目前通行的规程为JJG396-2002,是由河南省计量所与中原量仪厂一起编写的,这也证明了中原量仪厂在这类产品的生产方面的国内权威性.
中国市场此类产品的国外品牌主要有意大利的Marposs,瑞士的TESA和德国的Mahr,其线性精度方面都很好,但在径向受力后的求值误差方面控制得不是很稳定.
需要注意的是,0.1um只是显示分辨力,实际测量精度/测量不确定度需进行综合考虑.一般来说,几个国外品牌的电感测微仪,当把显示器的显示分辨力调节到0.1um,同时将测量范围控制在+/-3um以内,此时,可以达到最高的测量精度.当然,在正式测量前,需进行Master设置,找到测头的电子零点,因为电感测头的工作原理与普通的指示表不同,普通指示表是以测头从最下方移动至最上方的方式来评估其精度指标,而电感测头是以位于中间位置的电子零点为基准,上下对称放大测量范围,离电子零点越近,测量精度越高,所以,在使用时,一定要注意务必先调节好电子零点,然后对显示器进行置零,再进行正式的测量工作.当然,测头的装夹和其它对应的测量夹具或测量头也会对这种高精度的测量造成影响. |