认可领域
| 仪器图片: |
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| 仪器名称: |
激光干涉比长仪 |
| 仪器俗称/别名: |
干涉比长仪、激光比长仪 |
| 英文名称: |
Laser Interferometric Comparator（Interference Comparator） |
| 型号规格: |
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| 生产厂家: |
- |
| 相关规程/规范: |
JJF 1913 激光干涉比长仪校准规范（原JJG 331-1994 激光干涉比长仪检定规程已废止） |
| 测量范围: |
(0～1000) mm，部分装置可扩展至数米量级 |
| 技术指标: |
测量不确定度：U=(0.1+0.1L) μm (k=2)，其中L以米为单位
重复性：优于30 nm
测量精度可达数十分之一波长范围（约10 nm级）
新型干涉比较仪设计可实现标准偏差为2 nm的测量 |
| 等级: |
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| 分辨率: |
纳米级（可达1 nm分辨率） |
| 计量标准与配套设备: |
633nm碘稳频氦氖激光器（长度基准光源）
双频激光干涉仪
环境参数补偿模块（温度、气压、湿度传感器）
隔振平台
光电显微镜（用于线纹尺刻线瞄准） |
| 推荐标准器品牌: |
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| 描述: |
激光干涉比长仪是以激光波长为基准的精密计量仪器，通过迈克尔逊干涉系统实现数米级长度的高精度自动化测量。其基本原理是将相干光源的光束分成两条相同的光束，每条光束的传播路径（光程）不同，在到达探测器前重新会合，光程差导致相位差，从而形成可通过探测器识别的干涉条纹，通过计算条纹变化测量位移。该仪器将线纹间距和位移传感器的线位移直接溯源到长度基准激光波长，并实现环境参数的实时修正。
激光干涉比长仪主要用于检定一等、二等标准金属线纹尺、玻璃线纹尺，校准光栅、感应同步器、磁栅、容栅等各类位移传感器，以及纳米位移台误差分析等。其应用领域覆盖汽车制造、机械加工、航空航天等高端装备制造领域，典型用户包括省级计量科研机构、中国计量科学研究院等。
该仪器的发展可追溯至1881年迈克尔逊设计干涉仪，1961年氦氖激光器的发明催生了激光干涉仪。中国计量科学研究院在激光干涉比长仪工作基准装置的研制方面持续投入，2016年实现了新型多功能1m激光比长仪装置。使用中需注意环境温度控制（通常在24℃左右恒温恒湿防震环境），并定期进行环境补偿模块校准和激光器频率稳定性检查。 |
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