GB/T 17865-1999焦深与最佳聚焦的测量规范

【 标准编号 】 GB/T 17865-1999
【 标准名称 】 焦深与最佳聚焦的测量规范  
【 英文名称 】 Specification for measuring depth of focus and best focus
【 发布单位 】 国家质量技术监督局
【 批准单位 】 国家质量技术监督局
【 发布日期 】 1999-9-13
【 实施日期 】 2000-6-1
【 开本页数 】 9P
【 引用标准 】 GB/T 16878-1997; SJ/T 10584-1994
【 采用关系 】 IDT SEMI P25:1994
【 起草单位 】 中国科学院微电子中心
【 起 草 人 】 陈宝钦; 陈森锦; 廖温初; 刘明