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[工程参量] (1~1000μm)标准台阶规(阶差规)校准规范-征求意见稿

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18350222659 发表于 11 小时前 | 显示全部楼层 |阅读模式
       标准台阶规(阶差规)主要用于校准台阶仪,光学仪器的Z轴、轮廓仪、粗糙度仪及其他台阶高度类仪器。其台阶面采用特殊尺寸的钢制或陶瓷量块制造而成,基体可以是与台阶面材质相同的材料研磨而成或光学平晶。标准台阶规(阶差规)的外形结构由图1所示。

(1~1000μm)标准台阶规(阶差规)校准规范-征求意见稿.pdf

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