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[线纹] 光栅尺

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text 发表于 2 小时前 | 显示全部楼层 |阅读模式
认可领域
仪器图片:
仪器名称: 光栅尺
仪器俗称/别名: 光栅尺位移传感器、光栅线位移测量装置、光栅传感器
英文名称: Grating Linear Displacement Measuring Device / Linear Encoder
型号规格:
生产厂家: -
相关规程/规范: JJG 341 光栅线位移测量装置检定规程
测量范围: 量程覆盖范围广泛,常见规格为30mm至3000mm(封闭式),敞开式最大可达30m以上。典型量程包括:50mm、100mm、200mm、300mm、500mm、600mm、1000mm、1500mm、2000mm、3000mm等。
技术指标: 栅距:常见为20μm(50线/mm),部分高精度产品栅距可小至4μm或8μm
测量准确度:典型精度为±5μm/m至±10μm/m,高精度产品可达±1μm/m
最高运动速度:可达120m/min
热膨胀系数:与机床铸件匹配(约11×10⁻⁶/℃)
防护等级:标准安装IP53,通入压缩空气可达IP64
工作温度:0°C至50°C
等级: 按准确度等级划分,典型精度等级包括:±1μm/m、±3μm/m、±5μm/m、±10μm/m等
分辨率: 常见分辨率:5μm、1μm、0.5μm 高精度产品经电子细分后可达0.1μm(如20μm栅距经512倍细分后理论分辨率约39nm) 部分超高精度产品可达纳米级
计量标准与配套设备: 激光干涉测长仪(双频激光干涉仪):用于检定光栅装置的准确度
长光栅比较仪:用于检定光栅装置的准确度
量块(用于校准和定位)
温度计(测量环境温度,检定条件要求20°C±1°C)
饱和蒸气压计(用于环境湿度控制)
推荐标准器品牌:  
描述: 光栅线位移测量装置(以下简称光栅装置)是以光栅作为测量元件,用光栅线位移传感器(以下简称光栅传感器)将线位移量通过光栅数显表,以数字显示的线位移测量装置。
光栅装置主要由光栅传感器(包括专用电缆)和光栅数显表两部分配对组成。
光栅传感器按结构分为开启式和封闭式;按型式分为带参考零位和不带参考零位的光栅传感器。
光栅数显表按功能分为普通型和多功能型光栅数显表。
光栅尺(又称光栅线位移测量装置)是一种基于光栅莫尔条纹原理进行高精度直线位移测量的光电传感器,被誉为"工业母机之眼"。其核心结构包括标尺光栅(主尺)和读数头两大部分。标尺光栅通常固定在设备基准部件上(如机床床身),表面通过精密光刻工艺刻有周期性、等间距的平行栅线,栅距通常在20μm至100μm之间。读数头安装在运动部件上,内部包含光源、指示光栅和光电探测器阵列。

工作原理基于莫尔条纹效应:当读数头与标尺光栅发生相对移动时,光线穿过或反射自两层光栅,发生衍射和干涉,形成明暗相间的莫尔条纹。莫尔条纹具有放大作用和均化误差的能力,使微小位移被放大并转化为易于检测的光强变化。光电探测器将光强变化转换为相位差为90°的正弦和余弦两路电信号,经电子细分技术处理后实现高分辨率位移测量。
本帖最后由 text 于 2026-7-31 09:41 编辑

JJG 341 光栅线位移测量装置检定规程
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