超低本底α粒子测量装置校准规范-征求意见稿

超低本底α粒子测量装置主要由α粒子探测器、信号处理单元、屏蔽单元、显示/控制单元和工作气体供应单元等部分组成，探测器通常采用大面积流气式电离室，工作气体为氩气。常用采用脉冲波形分析法或辅以宇宙射线反符合法，剔除探测器本底α粒子和宇宙射线的影响，实现超低本底α粒子测量。超低本底α粒子测量装置主要应用于半导体晶圆、芯片衬底、焊料、电子材料或超低α本底材料等的α粒子表面发射率的测量。