计量使工艺得以实现

计量使工艺得以实现
发布时间:2007-11-23

      计量并不廉价——计量专家的费用和计量工具的成本就不低——但如果是以生产和成品率为目标的话，那么它绝对算得上价廉物美。
　　多年以来，许多业内人士都认为计量是一项非增值的花费，但是随着在器件制造流程中计量重要性的不断提高，它正在快速地成为帮助获取巨额收入的关键因素之一。在一篇研究内容广泛全面的研讨会论文中，对这种重心转移背后的原因进行了明确的描述，对于那些在各类检查、测量和测试应用中生产或使用计量的从业者来说，这篇论文应该被视为最重要的参考资料之一。
　　通过对“增值”计量的讨论，论文的第一作者、国际半导体技术制造协会（ISMI）的Benjamin Bunday，与来自ISMI和Sematech、Freescale、Advanced Micro Devices、Intel、Spansion、Texas Instruments和IBM的合作者们一起，解释了为什么将计量看成是一项非增值花费的传统“思维”，已经成为一种误导性的危险论断。正如Bunday所说：“在当前最新工艺出现中的各种重要的技术趋势，比如光学邻近修正（OPC）、可制造性设计（DFM）和先进工艺控制（APC）等，实际上都基于在 误差和精度方面，可以对计量进行精细的调整这个前提假设。”
　　Bunday和合著者们解释了为什么在特征尺寸计量和套刻精度、薄膜与缺陷计量领域内处处都可以找到这样的例证。以APC为例，他们展示了这个全新的概念是如何使计量在最终产品质量中扮演主要角色的：“过去，计量监测工艺流程的结果，而且主要用途是出现异常偏差后进行返工和‘在事后’对工艺进行调整。APC将它推到一个新的水平，通过‘过程中修正’来不断地将工艺向目标引导。”这篇论文分析了典型的栅层APC循环，其中计量数据被反馈以用于调整光刻设置，同时又被前馈来调整基于光刻结果的栅刻蚀；对快速热退火注入步骤进行精细的调整，以进一步修正栅刻蚀步骤中可能出现的任何异常偏差。