干涉显微镜不确定度的分析评定

干涉显微镜不确定度的分析评定
  
[摘要]  
本文对干涉显微镜在进行校准/测试工作中,分析计算了不确定度的来源和分量,以及合成标准不确定度和扩展不确定度,并对干涉显微镜进行了重复性、稳定性考核和不确定度的验证,表明干涉显微镜能按检定系统表和检定规程开展量值传递.
[关键词]  
干涉显微镜,不确定度,重复性,稳定性,光学仪器  
[作者]  
黄健,中国空气动力研究与发展中心校准/测试实验室
[会议名称]  
西南地区自动化、仪器仪表及电控技术学术年会  
[会议时间]  
20021031
[会议地点]  
四川绵阳
[主办单位]  
中国自动化学会  
[会议分类]  


[母体文献]  
西南地区自动化、仪器仪表及电控技术学术年会论文集  
[出版单位]  
中国自动化学会  
[出版地]  
北京  
[出版时间]  
20021031  
[页码]  
12-13
[注释项]  
吕庆新
[分类]  


[密级]  

[馆藏号]  
H046945