[工程参量] 工作平晶平面度测量不确定度评定

发表于 2008-1-26 14:46:19 | 显示全部楼层 |阅读模式

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刘丽娟
湖南省计量测试技术研究所，长沙410004

摘　要:本文对JJG28-2000《平晶》中以等厚干涉法检定工作平晶(D30mm-l00mm)平面度的方法进行了分析、评定，得出了平面度的测量结果不确定度。

关键词:工作平晶平面度等厚干涉法不确定度行业标准评定

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