248 nm紫外显微镜微纳线宽校准方法的研究

酱里个酱

李琪1,李伟1,施玉书1,高思田1,李适1,王鹤群1,尹传祥1,2
1.中国计量科学研究院, 北京 100029；
2.合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院,  安徽 合肥 230009

摘要 248 nm波长照明的紫外显微镜能够获得高达80 nm的光学分辨率,可以实现对掩模板的线宽和一维/二维栅格参数的测量。作为测量仪器的248 nm紫外显微镜需要对其进行校准。该显微镜测量范围在nm量级,校准使用400 nm一维栅格标准物质,通过对仪器不确定度和标准物质自身不确定度的评估,得到采集图像每个像素的扩展不确定度为0.178 nm,并给出了实际测量时的不确定度评价公式。