高精度电容式位移传感器校准方法的研究

郑志月1,施玉书2,3,高思田2,李东升1,李伟2,李适2,李庆贤4
1.中国计量学院 计量测试工程学院, 浙江  杭州 310018;
2.中国计量科学研究院, 北京 100029;
3.天津大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072;
4.苏州市计量测试研究所, 江苏 苏州 215128

摘要 介绍一种使用激光干涉仪结合单轴精密位移台对电容式位移传感器进行校准的方法。建立了一套高精度电容式位移传感器校准装置,利用单轴精密位移台位移与电压之间的关系产生纳米级的微小位移,同时使用激光干涉仪和待校准电容式位移传感器测量单轴精密位移台的微小位移。该装置可实现电容式位移传感器线性度、测量重复性以及测量分辨率的校准。实验验证了此校准方法的准确性和实用性,对影响校准的主要因素进行了分析,其综合不确定度为2.2 nm。

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