微纳米三坐标测量机的高精度恒温箱研制

作者：冯建1,李瑞君1,何亚雄1,范光照1,2
1.合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽 合肥 230009;
2. 台湾大学机械工程学系,  台北  10617
摘要：针对恒温室控制精度低和分离式恒温箱因振动而无法满足微纳米三坐标测量机需要的问题,研制了一套自然对流式高精度恒温箱。用定制尺寸的中空亚克力板和轻便型超低导热系数真空绝热板制成绝热箱体。以仪器测量点温度作为温度控制反馈值,均匀位于恒温箱顶部的9个半导体制冷片对其周围空气进行制冷,箱内冷空气均匀向下流动,与向上流动的热空气进行热交换。采用LabVIEW与MATLAB混合编写高精度温控程序。实验结果表明:设定值为20 ℃时的稳态误差为0.003 2 ℃,稳态时温度波动小于0.03 ℃,优于一级恒温室。新型恒温箱具有成本低、能耗小和无振动干扰等优点。