高分辨透射电子显微镜的校准方法

王芳1施玉书1周莹2
1. 中国计量科学研究院2. 上海市计量测试技术研究院
摘要：透射电子显微镜作为纳米尺度的重要分析工具，其长度量值的准确性将直接影响样品的测量结果。本研究采用单晶硅晶格标准器，对高分辨透射电子显微镜的长度测量误差与长度测量重复性进行了校准，并对长度测量误差的不确定度进行评定。为说明校准方法的适用性，研究中对三台不同型号的高分辨透射电子显微镜进行了校准实验，结果显示该校准方法具有广泛的代表性，可实现透射电子显微镜的精确评价，测量量值可溯源至硅晶格常数，为纳米技术领域的精准测量提供技术保障。