检定光学仪器标准器组 QTD-T-A05
作业指导书
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投影仪示值测量不确定度的评定与表示
本作业指导书是对校准结果测量不确定度进行评定和表示的规范化程序。在实际运用中,应注意人员、标准、环境、方法等引入的标准不确定度分量与本作业指导书采用的评定条件的区别,并按实际情况和本作业指导书规定的程序进行评定。
1. 测量方法
1.1测量依据
依据JJF1093-2002
1. 2测量方法
采用与已知玻璃线纹尺长度直接比较测量来得出投影仪的示值误差。
1. 3测量环境
温度20±3℃
1. 4测量标准
检定光学仪器标准器组
1. 5被测对象
投影仪
不确定度评定
2.数学模型
δi=(Ai-Ao)-Li
式中: δi——各点的示值的读数值;
Ai——各校准点上仪器的读数值;
Ao——起始点上仪器的读数值;
Li——标准玻璃刻线尺所用的实际尺寸,mm。
2. 1差和灵敏系数
考虑各分量彼此独立,依据公式uc2(δi)=Σ( )2u2(xi)得
uc2=u2(Δ)=c12u2(Ai)+c22u2(Ao)+c32u2(Li)
式中:c1= ;c2= ;c3=
3.标准不确定度一览表(见表B1)
4.计算分量的标准不确定度
4.1测量读数Lo和Li误差引起的标准不确定度分量u1
测量读数包括瞄准误差和估读误差,其中瞄准误差包含影屏瞄准和读数时的瞄准。以校准时使用10倍物镜计算,读数装置的放大倍数为20倍,则两项瞄准误差分别为
δ影=5×250/10×2×105=0.63μm
δ读=5×250/20×2×105=0.31μm
两项合成: δ= 0.70μm
估读误差为分度值的1/10,即0.1μm。
4.1.1 Lo估算的标准不确定度分量u11
包含由瞄准误差引起的标准不确定度分量u′和估读误差引起的标准不确定度分量u″,全部以均匀分布估计,其相对不确定度为20%。
u′=0.07/ =0.40μm ν′=(1/2)×(20/100)-2=12
u″=0.1/ =0.40μm ν″=(1/2)×(20/100)-2=12
表B1
标准不确定度分量 标准不确定度来源 标准不确定度 ci |ci|u(xi) 自由度
u1 测量读数误差
Lo的读数误差
瞄准误差
估读误差
Li的读数误差
瞄准误差
估读误差 0.58μm
0.41μm
0.70/ =0.40μm
0.1/ =0.06μm
0.41
0.40
0.06 1
1
-1 0.58 27
14
12
12
14
12
12
u2 标准玻璃刻线尺误差
刻线尺检定误差
刻度尺线胀系数差
刻度尺温度差 0.35
0.5/3=0.17μm
100000×3×1.0×10-6/ =0.17μm
100000×10.2×10-6×0.5/ =0.29μm
-1 0.35 24
50
50
12
两项合成:u11= 0.41μm
ν11= =
4.1.2 Li估算的标准不确定度分量u12
与Lo估算的标准不确定度分量u11相同:
u12=0.41μm ν12=14
4.1.3测量读数误差引起的标准不确定度分量u1的计算
u1= = = 0.58μm
ν1=
4.2标准玻璃刻线尺Ls误差估算的标准不确定度分量u2
该项不确定度主要由标准玻璃刻线尺检定误差的不确定度u21,标准玻璃刻线尺和投影仪的刻度尺线胀系数差的不确定度u22,以及标准玻璃刻线尺和投影仪的刻度尺温度差的不确定度u23组成。
4.2.1标准玻璃刻线尺检定误差的标准不确定度u21
由检定证书给出为0.5μm,正态分布,k=3,估计相对不确定度10%。
u21=0.5/3=0.17μm
ν21=(1/2)×(10/100)-2=50
4.2.2标准玻璃刻线尺和投影仪的刻度尺线胀系数差的标准不确定度u22
线胀系数差的界限在±1.0×10-6℃-1的范围内服从均匀分布,△t=3℃,估计相对不确定度10%。
u22=100000×3×1.0×10-6/ =0.17μm
ν22=(1/2)×(10/100)-2=50
4.2.3标准玻璃刻线尺和投影仪的刻度尺温度差原标准不确定度u23
等温后,标准玻璃刻线尺和投影仪的刻度尺温度差估计在±0.5℃范围内服从均匀分布,相对不确定度20%。
u23=100000×10.2×10-6×0.5/ = 0.29μm
ν23=(1/2)×(10/100)-2=12
4.2.4 Ls误差估算的标准不确定度分量u2的计算
u2= = =0.35μm
ν2==
5.合成标准不确定
uc= = =0.68μm
6.有效自由度
依据Welch-Satterthwaite公式有:
= =44
7.扩展不确定度
U99=t0.99(44)uc=2.7×0.68=1.8μm
编制:** 审核:** 批准:*** 实施日期:2004.03.15 |
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