GB/T 18682-2002物理气相沉积TiN薄膜技术条件

【 标准编号 】 GB/T 18682-2002
【 标准名称 】 物理气相沉积TiN薄膜技术条件  
【 英文名称 】 Specifications of physical vapour deposition TiN films
【 发布单位 】 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
【 发布日期 】 2002-3-10
【 实施日期 】 2002-8-1
【 开本页数 】 23P
【 引用标准 】 GB 191; GB/T 3620.1; B/T 3620.2; GB/T 4698; GB/T 5168; GB/T 5193; GB/T 6070; GB/T 8180; GB/T 11164-1999; GB/T 13384; GB/T 15827; JB/T 6075; JB/T 7506; JB/T 7673; JB/T 7705; JB/T 8554; JB/T 53021
【 起草单位 】 武汉材料保护研究所; 钢铁研究总院; 中科院力学研究所; 中国航科集团公司五一一研究所; 成都工具研究所; 中科院兰州化学物理研究所; 兰州真空设备有限责任公司; 长沙科航新型表面技术研究所
【 起 草 人 】 凌国伟; 李健; 倪瀚; 黄济群; 曲学基; 纪晓春; 秦襄培