GB/T 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定和探针电容--电压法

【 标准编号 】 GB/T 14146-1993
【 标准名称 】 硅外延层载流子浓度测定和探针电容--电压法  
【 英文名称 】 Silicon epitaxial layers-Determination of carrier concentration-Mercury probe valtage-capacitance method
【 发布单位 】 SBTS
【 批准单位 】 国家技术监督局
【 发布日期 】 1993-2-6
【 实施日期 】 1993-10-1
【 所属标准 】 GB
【 开本页数 】 4P
【 采用关系 】 DIN 50439-1982,REF